半導体製造装置用セラミック部品

セラミックスは、配線の微細化・多層化が進む半導体製造装置に広く使用されています。軽量で剛性の高いセラミックスは露光装置に、耐プラズマ性、低発塵性、耐熱性、低誘電損失性を備えたセラミックスはエッチング装置や成膜装置に採用が拡大しています。ウエハ搬送アームには、高精度で機械的特性に優れたセラミックスを採用。サファイアは、光透過性を必要とするウィンドウ、ウェーハ キャリア プレート、ウェーハ コンタクト リフト ピン、プラズマ導入管などにも使用されます。