研磨板

高純度セラミックスの採用により、優れた硬度と耐摩耗性を実現。

ウェーハ研磨工程に高純度セラミックスを採用することで、高い硬度と優れた耐摩耗性が得られ、良好な表面状態を長期間維持することができます。

キーワード: 高硬度、耐摩耗性