フォーカスリング

フォーカスリング

特徴
  • 高純度
  • 高密度
  • 高熱伝導率
特徴
  • ウェーハ上の金属汚染が少ない
  • 優れたアウトガス性能と少ないパーティクル
  • 優れた冷却速度と熱応答

製品

アプリケーション 製品
エッチング装置・装置 セラミック吸着台、シャワープレート、フォーカスリングなど
プラズマCVD装置、熱CVD装置 アンダーテイカーなど
熱処理装置 レシーバー、ウエハーホルダーなど