ウェーハ搬送装置
300mmウェーハは、カセット（コンテナ）A～Bに1枚ずつ搬送されます。
対応カセット（容器）はFOUP、FOSB、OPEN、PFAです。
標準搬送は1枚単位ですが、5枚単位、25枚単位での搬送も可能です。
ウェーハカセットチェンジャー
本装置は、指定カセットに収納されている200mm用と300mm用のダイシングフレームを標準カセットに交換するシステムです。
使用カセットは6枚カセットと13枚カセットです。各カセットはオペレーターによってステージに供給されます。
ウエハ搬送ロボット
前後（X軸）、スイベル（θ軸）、上下（Z軸）＋ハンド回転（0～180°）の動作が可能で、大気中でのウエハ搬送に対応します。 駆動モーターは全軸アブソリュートエンコーダー仕様のACサーボモーターです。
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