ウェーハ搬送装置
本装置は、指定カセットに収納されている200mm用と300mm用のダイシングフレームを標準カセットに交換するシステムです。
使用するカセットは、6枚カセットと13枚カセットです。各カセットはオペレーターによってステージに供給されます。
仕様
| 処理された材料 | ||
|---|---|---|
| ダイシングフレーム | サイズ | 200mm・300mm |
| 厚さ | 1.22 ± 0.08mm | |
| ワープ | 0.25mm以下 | |
| 接触可能範囲 | 裏側 | |
| キャリア | 標準カセット | 6枚入りカセット・13枚入りカセット |
| フレーム収納ピッチ | 15mm | |
| スループット | タクトアワー・輸送時間 | 180秒/13枚以内 |