ウェーハ搬送装置

ウェーハ搬送装置

本装置は、指定カセットに収納されている200mm用と300mm用のダイシングフレームを標準カセットに交換するシステムです。
使用するカセットは、6枚カセットと13枚カセットです。各カセットはオペレーターによってステージに供給されます。