EFEM・ソート
高性能ACサーボモーターを搭載し、余裕のある可搬質量で高速搬送を実現。ロボット、ロードポート、ハンドを最適に配置できます。過酷な環境下で20年以上のロボット技術を継承。
仕様
| モデル | TYK2102-2 | TYK2102-3 |
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| ポート数 | 2ポート | 3ポート |
| 輸送対象 | 300mmウェーハ直径：Φ300±0.2mm 厚さ：775μm | |
| キャリア | 300mm FOUP 25段 (SEMI E47.1) 300mm FOSB 25段 (SEMI M31) |
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| 電源電圧 | 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5% | |
| 消費電流 | 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む | |
| 真空（元圧） | -80kPa～-90kPa | |
| 真空（流量） | 40L/min | 50L/min |
| 正圧（元圧） | 0.6MPa～0.7MPa | |
| 正圧（流量） | 20L/min | 30L/min |
| EMO接点出力 | 2系統（乾接点） | |
| インターロック | 入力8点/出力8点（絶縁I/O） | |
| 特徴 |
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