ウェーハ搬送装置

ウェーハ搬送装置

クリーンロボットを応用したシステムです。
300mmウェーハは、カセット（コンテナ）A～Bに1枚ずつ搬送されます。
対応カセット（容器）はFOUP、FOSB、OPEN、PFAです。
標準搬送は1枚単位ですが、5枚単位、25枚単位での搬送も可能です。
ウエハーをカセット間で安全にまとめて搬送できます。
ウエハーをカセットから持ち上げて搬入出するため、カセットとの接触を最小限に抑え、ウエハーエッジの磨耗、発塵、損傷を防ぎます。ウエハーマッピングは、ウエハーのミスアライメントやダブルスタッキングなどのローディングエラーを検出します。誤操作防止センサー、非常停止ボタン付。

仕様

ウェーハ搬送装置
仕事 半導体基板
ワークサイズ 300mm
ワーク厚さ 600〜850μm
電源 AC200V, 15A
カセット（容器） FOUP・FOSB・OPEN・PFA
スループット 25枚/1カセット 搬送時間300秒以内
運転システム モーター駆動（サーボ）
機器重量 約500kg
装置サイズ W1000×D1400×H1800(mm)
輸送単位 1台・5台・25台
安全機構 カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、異常警報、緊急停止
オプション 除電器（イオナイザー）、フルカバー、エリアセンサー
IDリーダー、アライメント、ウェーハ反転など
特徴
  • 省スペース
  • 帯電防止タイプ
  • 光学センサーと機械センサーによるエラー監視
  • マッピングセンサー付き
  • FOUP・FOSB・H-Squareメタルカセット対応
  • クラス10のクリーンルーム対応
ケーススタディ ウエハーを手軽に搬送したい。
カセット内でのワークのこすれを抑えたい。
かなりの カセットステージ数、自動化、ワークサイズなど
使用法

  1. 機器メーカー様ご利用事例

    • ① 評価用ウェーハはFOSB（シッピングケース）でデバイスメーカーから提供されます。
    • ② 装置メーカーのシステムで使用されているキャリア (FOUP など) に転送します。
    • ③ 評価後のウェーハを FOSB に移します。 (デバイスの製造元に返却)。

    設備メーカー例

    エッチング装置、アッシング装置、洗浄装置、コーター・デベロッパ、露光装置など

  2. ウェーハメーカー使用ケース

    • ① 完成したウエハー（最終洗浄・検査終了後）をFOSB（シッピングケース）に移します。
    • ② 工程間（洗浄工程など）でPFA担体（洗浄担体）に移し替えます。