熱による変形を抑えます。耐薬品性に優れ、各種表面形状加工に適しています。
高熱伝導率、低熱膨張係数、高ヤング率、優れた均熱性、熱によるプレート自体の変形が極めて少ない枚葉式研磨プレートです。耐薬品性にも優れており、板面加工用の凸・凹・平面など様々な形状に加工できます。
キーワード: 高ヤング率、低熱膨張、高熱伝導率、耐薬品性、均一温度
SiC研磨板 | |
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材料 | 炭化ケイ素(SiC) |
形 | 凸面、凹面、平面が利用可能 |
サイズ | MAXφ30" |
正確さ | 平坦度1μm以下 |
適用例 | ウェーハ固定治具 |