SiC研磨板

SiC研磨板

熱による変形を抑えます。耐薬品性に優れ、各種表面形状加工に適しています。

高熱伝導率、低熱膨張係数、高ヤング率、優れた均熱性、熱によるプレート自体の変形が極めて少ない枚葉式研磨プレートです。耐薬品性にも優れており、板面加工用の凸・凹・平面など様々な形状に加工できます。

キーワード: 高ヤング率、低熱膨張、高熱伝導率、耐薬品性、均一温度

製品データ

SiC研磨板
材料 炭化ケイ素(SiC)
凸面、凹面、平面が利用可能
サイズ MAXφ30"
正確さ 平坦度1μm以下
適用例 ウェーハ固定治具