トランスファーアーム

トランスファーアーム

高温に耐え、損傷のない搬送アームです。また、摺動相手材へのダメージ軽減や不純物の拡散防止などの機能性向上を目的として、セラミックス表面にDLC(ダイヤモンドライクカーボン)などのコーティングを施すことも可能です。

キーワード: 高温耐性

製品データ

トランスファーアーム
材料 アルミナ、炭化ケイ素
サイズ φ200・300mm設備用
適用例 ウェーハ搬送