セラミック吸着台
- 特徴
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- 高純度
- 高密度
- 高熱伝導率
- 特徴
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- ウェーハ上の金属汚染が少ない
- 優れたアウトガス性能と少ないパーティクル
- 優れた冷却速度と熱応答
製品
| セラミック吸着台 | |
|---|---|
| 吸引穴径 | Φ1.5 |
| 材料 | アルミナブラック |
| 高純度 | 85% |
| 反射率 (400nm) | 6.29 |
| 曲げ強度 | 326Mpa |
| 比重 | 3.8 |
| 熱膨張係数 | 7.5×10 -6 |
| 2枚のプレートで構成されており、底面に空気の通路が掘られています。 | |
| 低反射率 | |
| アプリケーション | 製品 |
|---|---|
| エッチング装置・装置 | セラミック吸着台、シャワープレート、フォーカスリングなど |
| プラズマCVD装置、熱CVD装置 | アンダーテイカーなど |
| 熱処理装置 | レシーバー、ウエハーホルダーなど |