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テスト/コントロール/ダミーウェーハ
オリエンテーション:
(100)
タイプ/ドーパント:
P/生まれ
厚さ:
725 ± 25μm
抵抗率:
>1Ω・cmまたはカスタマイズ
TTV:
< 5μm
ワープ:
< 50μm
弓:
< 50 m