シリコンリング

シリコンリング

外径：

Φ300～Φ475mm

内径：

Customer Spec

オリエンテーション：

(100), (111)

タイプ/ドーパント：

P/ホウ素

抵抗率 (ohmcm)：

低解像度 (e.g<0.015, <0.02 …); 普通 (e.g1-4); 高解像度 (e.g60~90); その他

厚さ：

顧客仕様 ± 0.05mm

その他：

顧客仕様